| Наименование РИД |
Стабилизирующий концентрат для приготовления суспензий абразивных нанопорошков
|
| Реферат |
Изобретение относится к области коллоидной химии и микроэлектроники и может быть использовано при приготовлении полирующих суспензий для процессов химико-механической планаризации (ХМП) полупроводниковых материалов в производстве интегральных схем, микропроцессоров, чипов памяти и других изделий микроэлектроники.
Стабилизирующий концентрат для приготовления суспензий абразивных нанопорошков содержит синтетический карбоксиполиметилен в количестве 1,0–2,0 мас.% и многоатомный аминоспирт в количестве 5,0–15,0 мас.%,, выполняющий функцию регулятора pH. Концентрат выполнен в виде геля, который при разведении водой в соотношении 1:20 обеспечивает получение суспензий с pH 8,0–9,0, ζ-потенциалом от –20 до –40 мВ и динамической вязкостью 150–400 мПа·с.
Технический результат заключается в повышении агрегативной и седиментационной устойчивости суспензий абразивных нанопорошков, обеспечении регулируемой вязкости и стабильного pH, а также в увеличении срока хранения и воспроизводимости свойств по сравнению с добавками на основе природных полисахаридов.
|
| Возможные направления использования |
Процессы микроэлектроники, химико-механическая планаризация
|
| Количество опытных образцов |
1
|
| Количество просмотров |
5
|
| Наличие дополнительных файлов |
False
|
| Использование РИД правообладателем |
False
|
| Внешнее использование РИД |
False
|
| НИОКТР (JSON) |
{}
|
| ИКСИ (JSON) |
[]
|
| ИКСПО (JSON) |
[]
|
| ОЭСР (JSON) |
[]
|
| Дата первого статуса |
2025-11-06T09:39:54.362844+00:00
|
| Предполагаемый тип результата |
Изобретение
|
| Ожидаемая роль |
Исполнитель
|
| Заказчик |
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
|
| Руководитель работы |
Отвагина Ксения Владимировна
|
| Руководитель организации |
Отвагина Ксения Владимировна
|
| Регистрационный номер НИОКТР |
124112700055-0
|
| Последний статус |
Подтверждена, 625110700109-0, 2025-11-07 09:57:53 UTC
|
| ОКПД |
Продукты разные химические прочие, не включенные в другие группировки
|
| Ключевые слова |
стабилизатор; карбоксиполиметилен; химико-механическая планаризация; полирующие суспензии; коллоидная химия
|
| Исполнители |
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ХИМИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ ПЛАНАРИЗАЦИИ"
|
| Авторы |
Отвагина Ксения Владимировна
|
| Коды тематических рубрик |
31.15.37 - Химия коллоидов. Дисперсные системы
|
| OESR |
Коллоидная химия
|
| Приоритеты научно-технического развития |
а) переход к передовым технологиям проектирования и создания высокотехнологичной продукции, основанным на применении интеллектуальных производственных решений, роботизированных и высокопроизводительных вычислительных систем, новых материалов и химических соединений, результатов обработки больших объемов данных, технологий машинного обучения и искусственного интеллекта;
|
