Способ измерения емкости МДП структуры

Наименование РИД	Способ измерения емкости МДП структуры
Реферат	Настоящее изобретение относится к измерительной технике. Способ измерения емкости МДП структуры основан на применении время-импульсной рефлектометрии, заключающейся в анализе параметров отраженного и проходного сигналов при воздействии импульсов с малой длительностью фронта на объект исследования. При этом используются две линии передачи, между которыми подключается МДП структура, линии смещаются постоянными напряжениями, на линии подаются импульсы с длительностью фронта не более 20 пс, определяются формы отраженного и проходного сигналов для вычисления емкости МДП структуры. Изобретение обеспечивает повышение точности измерения емкости за счет исключения влияния паразитных элементов, таких как последовательные сопротивление, индуктивность и емкость на землю, а также уменьшение времени цикла измерения за счет исключения подготовительных процедур, связанных с определением каких-либо опорных величин.
Возможные направления использования	Технология производства интегральных схем.
Количество опытных образцов	1
Количество просмотров	4
Наличие дополнительных файлов	False
Использование РИД правообладателем	False
Внешнее использование РИД	False
НИОКТР (JSON)	{}
ИКСИ (JSON)	[]
ИКСПО (JSON)	[{"last_status": {"created_date": "2025-12-17T07:48:49.460781+00:00", "registration_number": "825121700059-2", "status": {"name": "Подтверждена"}}, "copyright_protections": [{"protection_way": {"name": "Осуществлена государственная регистрация"}}]}]
ОЭСР (JSON)	[]
Дата первого статуса	2025-11-06T07:30:22.245604+00:00
Предполагаемый тип результата	Изобретение
Ожидаемая роль	Исполнитель
Заказчик	МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Руководитель работы	Чаплыгин Юрий Александрович
Руководитель организации	Дронов Алексей Алексеевич
Регистрационный номер НИОКТР	123020600028-4
Последний статус	Подтверждена, 625111800061-7, 2025-11-18 08:04:34 UTC
ОКПД	Услуги, связанные с научными исследованиями и экспериментальными разработками в области нанотехнологий
Ключевые слова	СВЧ; МДП структуры
Исполнители	ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ"
Авторы	Лосев Владимир Вячеславович; Хлыбов Александр Иванович; Родионов Денис Владимирович; Котляров Евгений Юрьевич
Коды тематических рубрик	47.13.07 - Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
OESR	Нано-процессы [применение на наноуровне]; (биоматериалы относятся к разделу 2.9)
Приоритеты научно-технического развития	а) переход к передовым технологиям проектирования и создания высокотехнологичной продукции, основанным на применении интеллектуальных производственных решений, роботизированных и высокопроизводительных вычислительных систем, новых материалов и химических соединений, результатов обработки больших объемов данных, технологий машинного обучения и искусственного интеллекта;