Составная мишень для магнетронного распыления

Наименование РИД	Составная мишень для магнетронного распыления
Реферат	Полезная модель относится к области машиностроения, а именно к производству распыляемых мишеней для изготовления тонкопленочных композитов на основе систем несмешивающихся компонентов. Составная мишень для получения композитов на основе систем несмешивающихся компонентов при магнетронном распылении включает два распыляемых материала, расположенных в зоне магнетронного распыления, первый из которых с высокой температурой плавления выполнен в виде диска с диаметром, превышающим наружный диаметр зоны распыления, а второй распыляемый материал с низкой температурой плавления выполнен в виде двух дуг сектора шириной равной разности между внешним и внутренним радиусом зоны интенсивной эрозии мишени, при этом угол сектора выбирается в диапазоне 25–30°. Такая конструкция составной мишени позволяет стабилизировать и обеспечить однородность распыления за счет устранения деформации мишени, а также получать композиционные пленки требуемого состава по компонентам.
Возможные направления использования	Использование результата может обеспечить реализацию приоритетов научно-технологического развития Российской Федерации, определенных Стратегией научно-технологического развития Российской Федерации, утвержденной Указом Президента Российской Федерации 28 февраля 2024 г. № 145
Количество опытных образцов	1
Количество просмотров	5
Наличие дополнительных файлов	False
Использование РИД правообладателем	False
Внешнее использование РИД	False
НИОКТР (JSON)	{}
ИКСИ (JSON)	[]
ИКСПО (JSON)	[]
ОЭСР (JSON)	[]
Дата первого статуса	2025-11-06T14:59:20.974464+00:00
Предполагаемый тип результата	Полезная модель
Ожидаемая роль	Исполнитель
Заказчик	МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Руководитель работы	Овчинников Виктор Васильевич
Руководитель организации	Югай Евгений Эдуардович
Регистрационный номер НИОКТР	123020300004-1
Последний статус	Подтверждена, 625112000113-8, 2025-11-20 09:27:38 UTC
ОКПД	Услуги (работы), связанные с научными исследованиями и экспериментальными разработками в области технических наук и в области технологий, прочие, не включенные в другие группировки, кроме биотехнологии
Ключевые слова	Композиты; Несмешивающиеся компоненты; Композиционные пленки; Магнетронное распыление; Мишень
Исполнители	ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "МОСКОВСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ"
Авторы	Учеваткина Надежда Владимировна; Якутина Светлана Викторовна; Лукьяненко Елена Владимировна; Курбатова Ирина Александровна; Овчинников Виктор Васильевич
Коды тематических рубрик	53.49.15 - Структура и свойства цветных металлов и сплавов и композиционных материалов на их основе
OESR	Композитные материалы (включая ламинаты, армированные пластмассы, металлокерамику, комбинированные ткани из натуральных и синтетических волокон; наполненные композиты)
Приоритеты научно-технического развития	а) переход к передовым технологиям проектирования и создания высокотехнологичной продукции, основанным на применении интеллектуальных производственных решений, роботизированных и высокопроизводительных вычислительных систем, новых материалов и химических соединений, результатов обработки больших объемов данных, технологий машинного обучения и искусственного интеллекта;