Технологическая платформа атомно-слоевого осаждения
| Наименование РИД | Технологическая платформа атомно-слоевого осаждения |
|---|---|
| Реферат | Изобретение относится к области разработки устройств по нанесению тонких пленок, а именно к созданию технологической платформы нанесения тонких пленок с использованием технологии атомно-слоевого осаждения. Изобретение может быть эффективно использовано для атомно-слоевого осаждения тонких, высококонформных диэлектрических, полупроводниковых и металлизированных покрытий, c контролем толщины на атомарном уровне и с возможностью варьирования концентрации легируемых компонентов в условиях проточно-вакуумной системы |
| Возможные направления использования | Установка может применятся для атомно-слоевого осаждения тонких, высококонформных диэлектрических, полупроводниковых и металлизированных покрытий, c контролем толщины на атомарном уровне и с возможностью варьирования концентрации легируемых компонентов в условиях проточно-вакуумной системы |
| Количество опытных образцов | 1 |
| Количество просмотров | 2 |
| Наличие дополнительных файлов | False |
| Использование РИД правообладателем | False |
| Внешнее использование РИД | False |
| НИОКТР (JSON) | {} |
| ИКСИ (JSON) | [] |
| ИКСПО (JSON) | [] |
| ОЭСР (JSON) | [] |
| Дата первого статуса | 2025-11-21T09:43:20.600703+00:00 |
| Предполагаемый тип результата | Изобретение |
| Ожидаемая роль | Соисполнитель |
| Заказчик | ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "АСО ТЕХНОЛОГИИ" |
| Руководитель работы | Амашаев Рустам Русланович |
| Руководитель организации | Амашаев Рустам Русланович |
| Регистрационный номер НИОКТР | — |
| Последний статус | Подтверждена, 625112400052-6, 2025-11-24 07:29:26 UTC |
| ОКПД | Услуги, связанные с научными исследованиями и экспериментальными разработками в области химических наук |
| Ключевые слова | Тонкие пленки; Атомно-слоевое осаждение; Вакуумное обарудование; Нанотехнологии; Технологическая платформа |
| Исполнители | — |
| Авторы | Исубгаджиев Шамиль Магомедшарипович; Амашаев Рустам Русланович; Фараджев Шамиль Пиралиевич |
| Коды тематических рубрик | 31.15.19 - Химия твердого тела |
| OESR | Физическая химия |
| Приоритеты научно-технического развития | — |