Способ формирования пленок карбида молибдена на гетероструктуре молибден-кремний пиролизом пленки полиамида, полученного методом молекулярно-слоевого осаждения
| Наименование РИД | Способ формирования пленок карбида молибдена на гетероструктуре молибден-кремний пиролизом пленки полиамида, полученного методом молекулярно-слоевого осаждения |
|---|---|
| Реферат | Изобретение относится к технологии получения пленок карбида молибдена на кремниевой подложке. Изобретение заключается в двухэтапном процессе, где на первом этапе осуществляется процесс молекулярно-слоевого осаждения полимера из газовой фазы на гетероструктуре Mo-Siподл. На втором этапе следует термическая обработка полимера при температурах 1200 оС в вакууме (или инертной атмосфере), в результате которого образуется пленка MoxC. В результате пиролитического процесса образуется равномерно распределенный слой графитизированного углерода, который при температуре 1200 оС взаимодействует с молибденом на поверхности Si. Молекулярно-слоевое осаждение позволяет осуществлять контролировать толщины до 0.1 нм конформно осаждаемой полимерной пленки, благодаря чему становится возможным контроль толщины пленки карбида молибдена как продукта пиролиза полимера на гетероструктуре Mo-Siподл. |
| Возможные направления использования | Пленки карбида молибдена могут быть использованы в качестве каталитического материала в реакциях получения водорода, а также огнеупорных и устойчивых к истиранию покрытий. |
| Количество опытных образцов | 6 |
| Количество просмотров | 3 |
| Наличие дополнительных файлов | False |
| Использование РИД правообладателем | False |
| Внешнее использование РИД | False |
| НИОКТР (JSON) | {} |
| ИКСИ (JSON) | [] |
| ИКСПО (JSON) | [] |
| ОЭСР (JSON) | [] |
| Дата первого статуса | 2025-11-21T09:34:53.516827+00:00 |
| Предполагаемый тип результата | Изобретение |
| Ожидаемая роль | Соисполнитель |
| Заказчик | ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "АСО ТЕХНОЛОГИИ" |
| Руководитель работы | Амашаев Рустам Русланович |
| Руководитель организации | Амашаев Рустам Русланович |
| Регистрационный номер НИОКТР | — |
| Последний статус | Подтверждена, 625112400110-3, 2025-11-24 10:40:19 UTC |
| ОКПД | Услуги, связанные с научными исследованиями и экспериментальными разработками в области химических наук |
| Ключевые слова | Кремний; Тонкие пленки; Атомно-слоевое осаждение; Карбид молибдена; Полиамид |
| Исполнители | — |
| Авторы | Исубгаджиев Шамиль Магомедшарипович; Амашаев Рустам Русланович |
| Коды тематических рубрик | 31.15.19 - Химия твердого тела |
| OESR | Физическая химия |
| Приоритеты научно-технического развития | — |