| Наименование РИД |
Способ формирования массивов нанотрубок анодного оксида титана с изолирующим подслоем
|
| Реферат |
Изобретение относится к области сенсорной техники и нанотехнологий, в частности к способам формирования массивов нанотрубок анодного оксида титана (НТАОТ) с интегрированным изолирующим подслоем, для изготовления газовых сенсоров.
Способ включает анодное формирование массива НТАОТ на титановой подложке во фторсодержащих электролитах, его последующую термическую обработку для кристаллизации структуры оксида нанотрубок. Ключевой особенностью является формирование изолирующего подслоя путем повторного анодного окисления титановой подложки под уже частично или полностью кристаллизованным массивом НТАОТ. Повторное анодирование проводится в статических или динамических режимах в растворах электролитов на основе органических растворителей с добавлением воды и источника фторид-ионов − солей фтора и/или фторсодержащих кислот). В результате повторного анодирования формируется мезопористый наноструктурированный подслой аморфного оксида титана. После этого этапа может проводиться дополнительная сушка путем термической обработки при температурах, не приводящих к кристаллизации подслоя.
Техническим результатом является повышение газочувствительности сенсора на основе массивов НТАОТ и улучшение отношения сигнал/шум. Это достигается за счет высоких изолирующих свойств сформированного мезопористого наноструктурированного аморфного подслоя оксида титана, который эффективно снижает токи утечки и определяет направление пути протекания носителей заряда через массив НТАОТ. Использование органических растворителей для формирования подслоя позволяет создавать более пористую и высокоомную структуру по сравнению с плотными барьерными слоями, формируемыми в водных электролитах.
|
| Возможные направления использования |
Сенсорика: экология, химическая промышленность, пищевая промышленность, аграрная промышленность, биологические исследования.
|
| Количество опытных образцов |
0
|
| Количество просмотров |
4
|
| Наличие дополнительных файлов |
False
|
| Использование РИД правообладателем |
False
|
| Внешнее использование РИД |
False
|
| НИОКТР (JSON) |
{}
|
| ИКСИ (JSON) |
[]
|
| ИКСПО (JSON) |
[]
|
| ОЭСР (JSON) |
[]
|
| Дата первого статуса |
2026-01-14T11:55:51.337743+00:00
|
| Предполагаемый тип результата |
Изобретение
|
| Ожидаемая роль |
Исполнитель
|
| Заказчик |
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
|
| Руководитель работы |
Гаврилов Сергей Александрович
|
| Руководитель организации |
Дронов Алексей Алексеевич
|
| Регистрационный номер НИОКТР |
123020600183-0
|
| Последний статус |
Подтверждена, 626012800061-6, 2026-01-28 07:33:42 UTC
|
| ОКПД |
Услуги, связанные с научными исследованиями и экспериментальными разработками в области нанотехнологий
|
| Ключевые слова |
тонкие пленки; сенсорика; оксид титана; наноматериалы
|
| Исполнители |
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ"
|
| Авторы |
Гаврилов Сергей Александрович; Прудникова Мария Юрьевна; Бутманов Данил Денисович; Дронова Дарья Алексеевна; Савчук Тимофей Павлович; Железцов Александр Дмитриевич
|
| Коды тематических рубрик |
29.19.22 - Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры; 47.09.48 - Наноматериалы для электроники
|
| OESR |
Нано-материалы [производство и свойства]
|
| Приоритеты научно-технического развития |
в) переход к персонализированной, предиктивной и профилактической медицине, высокотехнологичному здравоохранению и технологиям здоровьесбережения, в том числе за счет рационального применения лекарственных препаратов (прежде всего антибактериальных) и использования генетических данных и технологий;
|
