Устройство реактивного электронно-лучевого осаждения нитридных покрытий
| Наименование РИД | Устройство реактивного электронно-лучевого осаждения нитридных покрытий |
|---|---|
| Реферат | Заявляемое техническое решение относится к осаждению покрытий реактивным электронно-лучевым испарением и может быть использовано при изготовлении микроэлектронных устройств. Сущность заключается в том, что, в прототип вместо кольцевого анода соосно с тиглем помещен полый электрод, на дне которого расположен подложкодержатель, причем полый электрод находится под отрицательным потенциалом относительно заземленного тигля, а внутренние стенки полого электрода выполнены из того же металла, что и помещенный в тигель. Выполнение совокупности указанных признаков позволяет достичь цели полезной модели – улучшения качества осаждаемых нитридных покрытий за счет повышения реакционной способности азота при его ионизации. |
| Возможные направления использования | Может быть использовано при изготовлении микроэлектронных устройств. |
| Количество опытных образцов | 0 |
| Количество просмотров | 3 |
| Наличие дополнительных файлов | False |
| Использование РИД правообладателем | False |
| Внешнее использование РИД | False |
| НИОКТР (JSON) | {} |
| ИКСИ (JSON) | [] |
| ИКСПО (JSON) | [] |
| ОЭСР (JSON) | [] |
| Дата первого статуса | 2025-11-28T09:49:32.309631+00:00 |
| Предполагаемый тип результата | Полезная модель |
| Ожидаемая роль | Исполнитель |
| Заказчик | МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ |
| Руководитель работы | Окс Ефим Михайлович |
| Руководитель организации | Рулевский Виктор Михайлович |
| Регистрационный номер НИОКТР | 123052500056-9 |
| Последний статус | Подтверждена, 625121200230-2, 2025-12-12 09:59:25 UTC |
| ОКПД | Услуги (работы), связанные с научными исследованиями и экспериментальными разработками в области технических наук и в области технологий, прочие, не включенные в другие группировки, кроме биотехнологии |
| Ключевые слова | ПОЛЫЙ ЭЛЕКТРОД; ОТРИЦАТЕЛЬНЫЙ ПОТЕНЦИАЛ; КОЛЬЦЕВОЙ АНОД |
| Исполнители | ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ" |
| Авторы | Нгон А Кики Лионель Жоэль; Суховольский Федор Александрович; Бурдовицин Виктор Алексеевич |
| Коды тематических рубрик | 29.27.51 - Применение плазмы |
| OESR | Физика жидкости, газа и плазмы (включая физику поверхностей) |
| Приоритеты научно-технического развития | Отсутствует |