Универсальный источник ионов газа и металла на основе магнетронного разряда с инжекцией электронов
| Наименование РИД | Универсальный источник ионов газа и металла на основе магнетронного разряда с инжекцией электронов |
|---|---|
| Реферат | Изобретение относится к плазменной технике, в частности, к ионным источникам и может быть использовано для имплантации ионами газа и металла различных материалов в вакууме. Ионные источники широко применяются для ионной модификации поверхности методом ионной имплантации с энергией частиц от единиц до сотен кэВ. Универсальный источник ионов газа и металла на основе магнетронного разряда с инжекцией электронов позволяет увеличить ток пучка ионного источника, за счет изменения потенциала полого экспандера, обеспечивающего осцилляцию инжектированных электронов и дополнительную ионизацию атомов металла (распыляемой мишени) и рабочего газа. |
| Возможные направления использования | Изобретение относится к плазменной технике, в частности, к ионным источникам и может быть использовано для имплантации ионами газа и металла различных материалов в вакууме. |
| Количество опытных образцов | 1 |
| Количество просмотров | 3 |
| Наличие дополнительных файлов | False |
| Использование РИД правообладателем | False |
| Внешнее использование РИД | False |
| НИОКТР (JSON) | {} |
| ИКСИ (JSON) | [] |
| ИКСПО (JSON) | [] |
| ОЭСР (JSON) | [] |
| Дата первого статуса | 2025-11-13T08:27:32.211676+00:00 |
| Предполагаемый тип результата | Изобретение |
| Ожидаемая роль | Исполнитель |
| Заказчик | МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ |
| Руководитель работы | Окс Ефим Михайлович |
| Руководитель организации | Романченко Илья Викторович |
| Регистрационный номер НИОКТР | 121040800172-2 |
| Последний статус | Подтверждена, 625122500416-4, 2025-12-25 18:07:58 UTC |
| ОКПД | Услуги, связанные с научными исследованиями и экспериментальными разработками в области физики |
| Ключевые слова | ИОННЫЙ ИСТОЧНИК; РАСПЫЛЕНИЕ; МАГНЕТРОН |
| Исполнители | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук |
| Авторы | Черкасов Александр Алексеевич; Шандриков Максим Валентинович |
| Коды тематических рубрик | 29.27.43 - Газовый разряд; 29.27.51 - Применение плазмы; 29.27.23 - Пучки в плазме; 29.27.49 - Диагностика плазмы |
| OESR | Физика жидкости, газа и плазмы (включая физику поверхностей) |
| Приоритеты научно-технического развития | Отсутствует |