Магнетронная распылительная система

Наименование РИД	Магнетронная распылительная система
Реферат	Устройство относится к плазменной технике и предназначено для нанесения на поверхность твердых тел тонких пленок из металлов и их соединений, синтезированных в результате взаимодействия атомов, распыленных с поверхности металлического катода, с газоплазменной средой. Магнетронная распылительная система сбалансированного типа содержит анод и магнитный блок, расположенные внутри корпуса МРС под вакуумом, отличающаяся тем, что она снабжена мишенью-катодом, выполненным с возможностью герметично закрывать сверху магнитный блок, содержащий один центральный и, по меньшей мере, шесть периферийных постоянных магнитов; корпус МРС включает центральную полость цилиндрической формы, внутри которой расположено основание магнитного блока с отверстиями для установки центрального и периферийных постоянных магнитов, при этом центральный постоянный магнит установлен в отверстии в центре основания магнитного блока, а периферийные постоянные магниты установлены в отверстиях, размещённых на равном расстоянии друг от друга по окружности, блоками три через три, под углом 75° к нормали оси корпуса магнитного блока МРС. Технический результат полезной модели заключается в повышении равномерности толщины покрытия при распылении мишеней на основе систем несмешивающихся компонентов, например, Cu–Fe, что, в итоге, позволяет улучшить качество покрытия.
Возможные направления использования	Возможные направления применения в машиностроении
Количество опытных образцов	1
Количество просмотров	5
Наличие дополнительных файлов	False
Использование РИД правообладателем	False
Внешнее использование РИД	False
НИОКТР (JSON)	{}
ИКСИ (JSON)	[]
ИКСПО (JSON)	[]
ОЭСР (JSON)	[]
Дата первого статуса	2025-12-15T12:27:55.611604+00:00
Предполагаемый тип результата	Полезная модель
Ожидаемая роль	Исполнитель
Заказчик	МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Руководитель работы	Овчинников Виктор Васильевич
Руководитель организации	Югай Евгений Эдуардович
Регистрационный номер НИОКТР	123020300004-1
Последний статус	Подтверждена, 625123000192-9, 2025-12-30 08:57:04 UTC
ОКПД	Услуги (работы), связанные с научными исследованиями и экспериментальными разработками в области технических наук и в области технологий, прочие, не включенные в другие группировки, кроме биотехнологии
Ключевые слова	Композиты; Тонкие пленки; Магнетронная распылительная система
Исполнители	ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "МОСКОВСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ"
Авторы	Учеваткина Надежда Владимировна; Якутина Светлана Викторовна; Лукьяненко Елена Владимировна; Курбатова Ирина Александровна; Овчинников Виктор Васильевич; Бабуев Михаил Александрович
Коды тематических рубрик	53.49.15 - Структура и свойства цветных металлов и сплавов и композиционных материалов на их основе
OESR	Композитные материалы (включая ламинаты, армированные пластмассы, металлокерамику, комбинированные ткани из натуральных и синтетических волокон; наполненные композиты)
Приоритеты научно-технического развития	а) переход к передовым технологиям проектирования и создания высокотехнологичной продукции, основанным на применении интеллектуальных производственных решений, роботизированных и высокопроизводительных вычислительных систем, новых материалов и химических соединений, результатов обработки больших объемов данных, технологий машинного обучения и искусственного интеллекта;