Малогабаритный высокотемпературный держатель подложек для установок вакуумного осаждения тонких пленок

Наименование РИД	Малогабаритный высокотемпературный держатель подложек для установок вакуумного осаждения тонких пленок
Реферат	Полезная модель относится к дополнительной оснастке для вакуумных установок и может быть использована для фиксации и нагрева подложек в малогабаритных исследовательских установках вакуумного осаждения тонких пленок.
Возможные направления использования	Полезная модель относится к дополнительной оснастке для вакуумных установок и может быть использована для фиксации и нагрева подложек в малогабаритных исследовательских установках вакуумного осаждения тонких пленок. Техническим результатом, обеспечиваемым полезной моделью, является упрощение конструкции держателя, повышение однородности температурного поля на его рабочей поверхности, увеличение скорости нагрева и остывания подложек, а также повышение энергетической эффективности держателя и упрощение процессов его обслуживания и ремонта. Поставленные цели достигаются тем, что элементы внутреннего нагреваемого корпуса держателя выполнены из однотипных шлифованных пластин термостойкой керамики с высокой теплопроводностью, не подверженной деструкции и короблению при температуре эксплуатации. Высокая теплопроводность и рассеивающая способность керамики, использование в качестве источника тепла плоского нагревательного элемента, эффективной площадью большей площади рабочей поверхности держателя, и его симметричная установка с расчетным зазором, между верхней и нижней керамическими пластинами, способствуют выравниванию температурного поля на рабочей поверхности держателя. Меньший рельеф и более высокая температурная стабильность плоскостности керамических пластин, используемых в качестве рабочей поверхности, по отношению к традиционно используемым металлическим, способствуют лучшему прилеганию подложек в процессе нагрева и как следствие более эффективной передаче тепла в условиях вакуума от рабочей поверхности к подложкам, а их меньший вес и, следовательно, меньшая теплоемкость - увеличению максимальных скоростей нагрева и охлаждения подложек. Развитая система теплоотражающих экранов также способствует снижению радиальных температурных градиентов на рабочей поверхности держателя и повышению его энергетической эффективности, а полностью разборная конструкция упрощает процессы ремонта и обслуживания.
Количество опытных образцов	5
Количество просмотров	3
Наличие дополнительных файлов	False
Использование РИД правообладателем	False
Внешнее использование РИД	False
НИОКТР (JSON)	{}
ИКСИ (JSON)	[]
ИКСПО (JSON)	[]
ОЭСР (JSON)	[]
Дата первого статуса	2025-12-29T09:07:19.029288+00:00
Предполагаемый тип результата	Полезная модель
Ожидаемая роль	Исполнитель
Заказчик	МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Руководитель работы	Асваров Абил Шамсудинович
Руководитель организации	Муртазаев Акай Курбанович
Регистрационный номер НИОКТР	125020501518-8
Последний статус	Подтверждена, 626011400101-6, 2026-01-14 07:21:23 UTC
ОКПД	Услуги, связанные с научными исследованиями и экспериментальными разработками в области физики
Ключевые слова	тонкие пленки; вакуумная установка; керамические пластины; подложка
Исполнители	ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ДАГЕСТАНСКИЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
Авторы	Ахмедов Ахмед Кадиевич
Коды тематических рубрик	29.19.16 - Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
OESR	Физика конденсированного состояния (включая физику твердого тела, сверхпроводимость)
Приоритеты научно-технического развития	а) переход к передовым технологиям проектирования и создания высокотехнологичной продукции, основанным на применении интеллектуальных производственных решений, роботизированных и высокопроизводительных вычислительных систем, новых материалов и химических соединений, результатов обработки больших объемов данных, технологий машинного обучения и искусственного интеллекта;