Способ изготовления трехмерных металлических микроструктур на основе их самосборки в результате локального формирования внутренних напряжений
| Наименование РИД | Способ изготовления трехмерных металлических микроструктур на основе их самосборки в результате локального формирования внутренних напряжений |
|---|---|
| Реферат | В настоящее время активно развивается направление, именуемое микрооригами. Самосборка трехмерных (3D) микроструктур с размерами в несколько десятков, сотен микрометров обладает большим потенциалом при создании устройств микроэлектроники, фотоники, микросистемной техники с принципиально новыми характеристиками и функциями. Целью настоящего изобретения является разработка способа изготовления трехмерных тонкопленочных металлических микроструктур, совместимого с традиционным производством компонентов для микро- и наносистемной техники, а также позволяющего осуществлять самосборку трехмерных микроструктур сразу на целой пластине. Предложен способ изготовления трехмерных металлических микроструктур на основе их самосборки в результате локального формирования внутренних напряжений в тонкопленочной заготовке в ходе ионно-плазменной обработки. Демонстрация технологии приведена на примере микрокубов. |
| Возможные направления использования | Изготовление устройств микро- и наносистемной техники, изготовление индуктивных элементов микрометровых размеров |
| Количество опытных образцов | 2 |
| Количество просмотров | 3 |
| Наличие дополнительных файлов | False |
| Использование РИД правообладателем | False |
| Внешнее использование РИД | False |
| НИОКТР (JSON) | {} |
| ИКСИ (JSON) | [] |
| ИКСПО (JSON) | [] |
| ОЭСР (JSON) | [] |
| Дата первого статуса | 2025-12-26T10:58:59.870703+00:00 |
| Предполагаемый тип результата | Изобретение |
| Ожидаемая роль | Исполнитель |
| Заказчик | Правительство Российской Федерации |
| Руководитель работы | Амиров Ильдар Искандерович |
| Руководитель организации | Алексеева Ольга Анатольевна |
| Регистрационный номер НИОКТР | 122020200120-0 |
| Последний статус | Подтверждена, 626011500173-2, 2026-01-15 08:49:30 UTC |
| ОКПД | Услуги по инженерно-техническому проектированию производственных процессов и производств |
| Ключевые слова | ионно-плазменная обработка; механические напряжения; Самосборка |
| Исполнители | ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР "КУРЧАТОВСКИЙ ИНСТИТУТ" |
| Авторы | Амиров Ильдар Искандерович; Селюков Роман Вячеславович; Бабушкин Артем Сергеевич |
| Коды тематических рубрик | 47.13.11 - Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники |
| OESR | Физика конденсированного состояния (включая физику твердого тела, сверхпроводимость); Электротехника и электроника |
| Приоритеты научно-технического развития | Отсутствует |