| Наименование РИД |
Программа для управления вакуумным комплексом термического отжига полупроводниковых пластин
|
| Реферат |
Программа предназначена для управления вакуумным комплексом термического отжига полупроводниковых структур, в том числе - электронным блоком и электроклапанами напуска газов и вакуумирования. Режимы нагрева и прокачки конфигурируются в программе, обеспечивается автоматизированный процесс проведения процесса, включающий вакуумирование, прокачку рабочим газом, выход на рабочую температуру, поддержание температурной полки и охлаждение. Обеспечивается высокая точность поддержания температуры на полке (1-2 °С) в широком диапазоне температур (до 800-900 °С). Весь процесс отжига регистрируется управляющей программой, визуализируется на экране управляющего ПК и сохраняется в файл для дальнейшего анализа. Программа может быть использована в постростовых технологиях производства полупроводниковых приборов.
|
| Возможные направления использования |
Программа может быть использована в постростовых технологиях производства полупроводниковых приборов.
|
| Количество опытных образцов |
1
|
| Количество просмотров |
6
|
| Наличие дополнительных файлов |
True
|
| Использование РИД правообладателем |
False
|
| Внешнее использование РИД |
False
|
| НИОКТР (JSON) |
{}
|
| ИКСИ (JSON) |
[]
|
| ИКСПО (JSON) |
[]
|
| ОЭСР (JSON) |
[]
|
| Дата первого статуса |
2025-12-26T11:59:03.696215+00:00
|
| Предполагаемый тип результата |
Программа для ЭВМ
|
| Ожидаемая роль |
Исполнитель
|
| Заказчик |
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
|
| Руководитель работы |
Слипченко Сергей Олегович
|
| Руководитель организации |
Иванов Сергей Викторович
|
| Регистрационный номер НИОКТР |
125041105143-7
|
| Последний статус |
Подтверждена, 626011600172-4, 2026-01-16 10:39:03 UTC
|
| ОКПД |
Работы оригинальные научных исследований и экспериментальных разработок в области естественных и технических наук, кроме биотехнологии
|
| Ключевые слова |
Термический отжиг; Полупроводниковые пластины; Вакуумный комплекс
|
| Исполнители |
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. А.Ф. ИОФФЕ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
|
| Авторы |
Фомин Евгений Витальевич; Малевский Дмитрий Андреевич; Бондарев Александр Дмитриевич
|
| Коды тематических рубрик |
90.27.30 - Измерения давления, вакуумные измерения; 90.27.32 - Теплофизические и температурные измерения; 90.29.25 - Создание стандартных образцов
|
| OESR |
Материаловедение; Нано-материалы [производство и свойства]; Электротехника и электроника
|
| Приоритеты научно-технического развития |
а) переход к передовым технологиям проектирования и создания высокотехнологичной продукции, основанным на применении интеллектуальных производственных решений, роботизированных и высокопроизводительных вычислительных систем, новых материалов и химических соединений, результатов обработки больших объемов данных, технологий машинного обучения и искусственного интеллекта;
|
