Создание прототипа комбинированного научно-учебного лабораторного оптического литографа
| Название НИОКТР | Создание прототипа комбинированного научно-учебного лабораторного оптического литографа |
|---|---|
| Аннотация | Разрабатывается прототип отечественного научно-учебного оптического литографа для КНИТУ КАИ, направленный на создание доступной альтернативы дорогостоящим зарубежным аналогам (стоимостью >30 млн руб). Проект включает разработку программно-аппаратного комплекса с модулем автоматической фокусировки и отработку технологий работы с фоторезистами для получения структур с разрешением 0.6-2 мкм. Основные преимущества — значительная экономия, модульность для адаптации под нужды лабораторий и гибкость технологического процесса. Создаваемые два прототипа предназначены для проведения лабораторных работ по подготовке студентов в области микроэлектроники и фотоники, а также для выполнения научных исследований по разработке новых компонентов. Использование существующей базы Казанского квантового центра КАИ и собственных наработок команды позволит создать первый российский комплекс такого класса, решающий задачи импортозамещения и служащий платформой для дальнейшего развития технологий. |
| Доступ к ОКОГУ исполнителя | False |
| Количество связанных РИД | 0 |
| Количество завершенных ИКРБС | 0 |
| Сумма бюджета | 810.0 |
| Дата начала | 2025-05-15 |
| Дата окончания | 2025-12-10 |
| Номер контракта | 075-15-2025-053 |
| Дата контракта | 2025-03-29 |
| Количество отчетов | 1 |
| УДК | |
| Количество просмотров | 7 |
| Руководитель работы | Арсланов Наркис Мусавирович |
| Руководитель организации | Бабушкин Виталий Михайлович |
| Исполнитель | ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "КАЗАНСКИЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМ. А.Н. ТУПОЛЕВА-КАИ" |
| Заказчик | МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ |
| Федеральная программа | — |
| Госпрограмма | — |
| Основание НИОКТР | Грант |
| Последний статус | 2025-07-08 13:22:13 UTC, 2025-07-08 13:22:13 UTC |
| ОКПД | Работы оригинальные научных исследований и экспериментальных разработок в области естественных и технических наук, кроме биотехнологии |
| Отраслевой сегмент | — |
| Минздрав | — |
| Межгосударственная целевая программа | — |
| Ключевые слова | фотоника; микроэлектроника; оптическая литография; интегральная оптика; квантовые интегральные устройства |
| Соисполнители | — |
| Типы НИОКТР | Фундаментальное исследование; Опытно-конструкторские работы; Проектные работы |
| Приоритетные направления | — |
| Критические технологии | — |
| Рубрикатор | 99.00.00 - Политематика |
| OECD | — |
| OESR | Оптика (включая лазерную оптику и квантовую оптику); Другая техника и технологии; Прочие естественные науки |
| Приоритеты научно-технического развития | — |
| Регистрационные номера | ikrbs: {'card_list': [{'id': '9QHSJ6QF1Z5O1PEZUVG2K11H'}]} |