Синтез и исследование перспективных материалов и гетероструктур на их основе для современных наноэлектронных устройств, а также микроэлектромеханических систем обработки информации
| Название НИОКТР | Синтез и исследование перспективных материалов и гетероструктур на их основе для современных наноэлектронных устройств, а также микроэлектромеханических систем обработки информации |
|---|---|
| Аннотация | Интеграция функциональных материалов с полупроводниковыми технологиями открывает возможность создания нового поколения устройств нано и микроэлектроники. Сдерживающим фактором для их применений является отсутствие воспроизводимой технологии создания гетероструктур на основе функциональных материалов и понимания физических состояний этих материалов в виде эпитаксиальных пленок. Задачи, решаемые в проекте, это установление физических механизмов кристаллизации и управления структурным совершенством функциональных материалов, реализованных в виде тонких пленок. На основе предложенной термодинамической модели будет определен вид взаимодействия, который вносит основной вклад в свойства гетероструктур на основе функциональных материалов, таких как сегнетоэлектрические пленки и пленки high-k диэлектриков различных составов. Исходя из расчетов согласно модели, можно определить фазовую диаграмму сегнетоэлектрических пленок и пленок high-k диэлектриков в зависимости от температуры и давления, вызванного несоответствием решеток пленок и подложки. Такое предварительное моделирование структур позволит прогнозировать будущие свойства синтезируемых структур. |
| Доступ к ОКОГУ исполнителя | False |
| Количество связанных РИД | 0 |
| Количество завершенных ИКРБС | 0 |
| Сумма бюджета | 50917.61 |
| Дата начала | 2025-01-01 |
| Дата окончания | 2027-12-31 |
| Номер контракта | 075-00395-25-03 |
| Дата контракта | 2025-04-22 |
| Количество отчетов | 3 |
| УДК | 538.97 539.216.2 539.23 |
| Количество просмотров | 8 |
| Руководитель работы | Афанасьев Михаил Сергеевич |
| Руководитель организации | Никитов Сергей Аполлонович |
| Исполнитель | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт радиотехники и электроники им. В.А.Котельникова Российской академии наук |
| Заказчик | МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ |
| Федеральная программа | Отсутствует |
| Госпрограмма | Фундаментальные и поисковые научные исследования |
| Основание НИОКТР | Государственное задание |
| Последний статус | 2025-07-30 10:49:21 UTC, 2025-07-30 10:49:21 UTC |
| ОКПД | Нет |
| Отраслевой сегмент | — |
| Минздрав | — |
| Межгосударственная целевая программа | — |
| Ключевые слова | сегнетоэлектрики; магнетронное распыление; микроэлектромеханические системы; плазмохимическое травление; вольт-фарадные характеристики; методы сканирующей зондовой микроскопии; вакуумные технологии осаждения тонких пленок; high-k диэлектрики |
| Соисполнители | — |
| Типы НИОКТР | Фундаментальное исследование |
| Приоритетные направления | — |
| Критические технологии | — |
| Рубрикатор | 29.19.16 - Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела; 29.19.35 - Сегнетоэлектрики и антисегнетоэлектрики |
| OECD | — |
| OESR | Нано-материалы [производство и свойства] |
| Приоритеты научно-технического развития | а) переход к передовым технологиям проектирования и создания высокотехнологичной продукции, основанным на применении интеллектуальных производственных решений, роботизированных и высокопроизводительных вычислительных систем, новых материалов и химических соединений, результатов обработки больших объемов данных, технологий машинного обучения и искусственного интеллекта; |
| Регистрационные номера | ikrbs: {'card_list': [{'id': 'YXRQ33308NZMAW7RBE0P8Y52'}]} |
