| Название НИОКТР |
Фундаментальные основы повышения надежности тонкопленочных функциональных наноматериалов (РНФ-107)
|
| Аннотация |
Настоящий проект посвящен изучению механизмов влияния промежуточного слоя (прослойки, "interlayer") на кинетические особенности протекания процесса твердофазной реакции между слоями различной химической природы в тонкопленочных системах. Промежуточный слой будет играть роль кинетического барьера, тормозящего процесс твердофазной реакции между слоями металл/металл, металл/кремний. В качестве промежуточного слоя предполагается использовать слой толщиной 1-10 нм, состоящий из атомов металлов и имеющий аморфную структуру. Предполагается исследовать системы на основе алюминия: Al/interlayer/M (M=Ni, Cu, Ag, Au) и кремния: Si/interlayer/M (M=Cu, Au), достаточно широко используемые в современных устройствах микроэлектроники. Выбор материала промежуточного слоя будет осуществлен в процессе выполнения проекта. Промежуточный слой должен будет не только выполнять роль кинетического барьера, но и обладать физико-механическими свойствами близкими к соседним металлическим слоям, чтобы не ухудшать функциональные свойства тонкопленочного материала.
Научная новизна настоящего исследования заключается в получении новых экспериментальных данных о механизмах контролируемого воздействия на кинетику процесса твердофазной реакции (температура инициирования реакции, скорость протекания реакции и т.д.) в многокомпонентной системе. Эксперименты по исследованию кинетически-заторможенных процессов между слоями металл/металл, металл/кремний с использованием аморфной металлической прослойки нанометровой толщины будут проведены впервые. Ожидается, что такая прослойка не только существенно повысит температуру инициирования процесса твердофазной реакции, но и может повлиять на последовательность формирования фаз в процессе твердофазной реакции. В этом случае появится возможность избежать формирования нежелательных фаз. Будет проверена оригинальная гипотеза, согласно которой в качестве промежуточного слоя, используемого как кинетический барьер для твердофазной реакции между слоями металл/металл, металл/кремний, более оптимальной будет прослойка, состоящая из атомов металлов и имеющая аморфную структуру, по сравнению с прослойкой, обладающей кристаллической структурой.
В результате проведенных исследований будет разработан оригинальный метод, позволяющий повысить надежность устройств микро- и наноэлектроники, фотовольтаики, солнечной энергетики и т.д., в которых используются тонкопленочные материалы металл/металл и/или металл/кремний.
|
| Доступ к ОКОГУ исполнителя |
False
|
| Количество связанных РИД |
0
|
| Количество завершенных ИКРБС |
0
|
| Сумма бюджета |
21000.0
|
| Дата начала |
2025-05-28
|
| Дата окончания |
2027-12-31
|
| Номер контракта |
25-13-00351
|
| Дата контракта |
2025-05-28
|
| Количество отчетов |
3
|
| УДК |
544-16 539.2:54
|
| Количество просмотров |
16
|
| Руководитель работы |
Жарков Сергей Михайлович
|
| Руководитель организации |
Румянцев Максим Валерьевич
|
| Исполнитель |
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "СИБИРСКИЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ"
|
| Заказчик |
Российский научный фонд
|
| Федеральная программа |
Отсутствует
|
| Госпрограмма |
—
|
| Основание НИОКТР |
Грант
|
| Последний статус |
2025-07-30 11:19:53 UTC, 2025-07-30 11:19:53 UTC
|
| ОКПД |
Работы оригинальные научных исследований и экспериментальных разработок в области естественных и технических наук, кроме биотехнологии
|
| Отраслевой сегмент |
—
|
| Минздрав |
—
|
| Межгосударственная целевая программа |
—
|
| Ключевые слова |
Просвечивающая электронная микроскопия; Синхронный термический анализ; Дифракция электронов; In situ исследования; Кинетический барьер; Кинетика; Твердофазная реакция; Нанослой; Наноматериал
|
| Соисполнители |
—
|
| Типы НИОКТР |
Фундаментальное исследование
|
| Приоритетные направления |
—
|
| Критические технологии |
—
|
| Рубрикатор |
31.15.19 - Химия твердого тела
|
| OECD |
—
|
| OESR |
Неорганическая и ядерная химия
|
| Приоритеты научно-технического развития |
а) переход к передовым технологиям проектирования и создания высокотехнологичной продукции, основанным на применении интеллектуальных производственных решений, роботизированных и высокопроизводительных вычислительных систем, новых материалов и химических соединений, результатов обработки больших объемов данных, технологий машинного обучения и искусственного интеллекта;
|
| Регистрационные номера |
—
|