| Название НИОКТР |
Разработка технологии и создание производства высокочистых силанов для микроэлектроники
|
| Аннотация |
Высокочистые силаны широко применяются в микроэлектронной отрасли, наиболее распространенными являются моносилан (МС), тетраэтоксисилан (ТЕОС), тетрахлорсилан (ТХК) и гексамедилдисилазан (ГМДС ).
Тетраэтилортосиликат (ТЕОС) — это жидкий исходный материал, используемый в системах CVD для осаждения легированных и нелегированных пленок диоксида кремния. ТЭОС — это стабильная, непирофорная, некоррозионная жидкость, и, таким образом, является предпочтительной альтернативой процессам, использующим силан или подобные соединения. TEOS используется для получения нелегированных пленок диоксида кремния и с применением жидких легирующих добавок для осаждения пленок BPTEOS.
Актуальность разработки отечественных технологий получения высокочистых силанов обусловлена геополитической политикой, санкционными ограничениями и экономическими показателями. На сегодняшний день потребности в данных материалах, среди предприятий микроэлектронной отрасли (Микрон, НИИИС, НМ-ТЕХ, ЗНТЦ и др.) превышают спрос и актуальность вывода на рынок данных материалов является чрезвычайно актуальной задачей, с учетом локализации производства на базе НИИ химии ННГУ, с последующим ростом мощностей на «индустриальной площадке» ННГУ для серийного выпуска материалов.
|
| Доступ к ОКОГУ исполнителя |
False
|
| Количество связанных РИД |
0
|
| Количество завершенных ИКРБС |
0
|
| Сумма бюджета |
40000.0
|
| Дата начала |
2025-06-30
|
| Дата окончания |
2025-12-15
|
| Номер контракта |
075-15-2025-217
|
| Дата контракта |
2025-04-04
|
| Количество отчетов |
1
|
| УДК |
661:54-481/-483
|
| Количество просмотров |
3
|
| Руководитель работы |
Воротынцев Андрей Владимирович
|
| Руководитель организации |
Грязнов Михаил Юрьевич
|
| Исполнитель |
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ НИЖЕГОРОДСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМ. Н.И. ЛОБАЧЕВСКОГО"
|
| Заказчик |
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
|
| Федеральная программа |
Отсутствует
|
| Госпрограмма |
—
|
| Основание НИОКТР |
Грант
|
| Последний статус |
2025-08-14 12:28:04 UTC, 2025-08-14 12:28:04 UTC
|
| ОКПД |
—
|
| Отраслевой сегмент |
—
|
| Минздрав |
—
|
| Межгосударственная целевая программа |
—
|
| Ключевые слова |
тетраэтоксисилан; высокочистые вещества; тетраэтилортосиликат
|
| Соисполнители |
—
|
| Типы НИОКТР |
Разработка новых материалов, научно-методических материалов, продуктов, процессов, программ, устройств, типов, элементов, услуг, систем, методов, методик, рекомендаций, предложений, прогнозов
|
| Приоритетные направления |
—
|
| Критические технологии |
—
|
| Рубрикатор |
61.69.35 - Особо чистые вещества
|
| OECD |
—
|
| OESR |
Химические технологии
|
| Приоритеты научно-технического развития |
б) переход к экологически чистой и ресурсосберегающей энергетике, повышение эффективности добычи и глубокой переработки углеводородного сырья, формирование новых источников энергии, способов ее передачи и хранения;
|
| Регистрационные номера |
—
|
