Исследование и разработка технологического процесса отжига тонкопленочных структур чувствительных элементов интегральных микросистем в составе кремниевых пластин диаметром 100 мм
| Название НИОКТР | Исследование и разработка технологического процесса отжига тонкопленочных структур чувствительных элементов интегральных микросистем в составе кремниевых пластин диаметром 100 мм |
|---|---|
| Аннотация | Целью выполнения НИР является определение параметров технологического процесса отжига тонкопленочных структур для чувствительных элементов интегральных микросистем в составе кремниевых пластин диаметром 100 мм, в том числе в магнитном поле и в вакууме. Для достижения поставленной цели необходимо решить следующий перечень задач: – определение состава макета лабораторного стенда для разработки технологического процесса отжига тонкопленочных структур чувствительных элементов интегральных микросистем в составе кремниевых пластин диаметром 100 мм, в том числе в магнитном поле и в вакууме; – разработка режимов технологического процесса отжига тонкопленочных структур чувствительных элементов интегральных микросистем в составе кремниевых пластин диаметром 100 мм, в том числе в магнитном поле и в вакууме; – исследование влияния разработанного технологического процесса на характеристики тонкопленочных структур чувствительных элементов интегральных микросистем в составе кремниевых пластин диаметром 100 мм. |
| Доступ к ОКОГУ исполнителя | False |
| Количество связанных РИД | 1 |
| Количество завершенных ИКРБС | 1 |
| Сумма бюджета | 1178.0 |
| Дата начала | 2013-01-14 |
| Дата окончания | 2025-12-31 |
| Номер контракта | Приказ № 18 |
| Дата контракта | 2012-09-17 |
| Количество отчетов | 1 |
| УДК | 621.382:658.274; 621.382.049.77:658.274 |
| Количество просмотров | 3 |
| Руководитель работы | Амеличев Владимир Викторович |
| Руководитель организации | Шаманаев Сергей Владимирович |
| Исполнитель | ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "НАУЧНО-ПРОИЗВОДСТВЕННОЕ ПРЕДПРИЯТИЕ "ТЕХНОЛОГИЯ" |
| Заказчик | ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "НАУЧНО-ПРОИЗВОДСТВЕННОЕ ПРЕДПРИЯТИЕ "ТЕХНОЛОГИЯ" |
| Федеральная программа | Отсутствует |
| Госпрограмма | — |
| Основание НИОКТР | Инициативная |
| Последний статус | 2025-08-22 12:49:34 UTC, 2025-08-22 12:49:34 UTC |
| ОКПД | Услуги, связанные с научными исследованиями и экспериментальными разработками в области физики |
| Отраслевой сегмент | — |
| Минздрав | — |
| Межгосударственная целевая программа | — |
| Ключевые слова | Отжиг; Тонкопленочная структура |
| Соисполнители | — |
| Типы НИОКТР | Проектные работы |
| Приоритетные направления | — |
| Критические технологии | — |
| Рубрикатор | 47.13.11 - Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники |
| OECD | — |
| OESR | Электротехника и электроника |
| Приоритеты научно-технического развития | Отсутствует |
| Регистрационные номера | ikrbs: {'card_list': [{'id': 'LDI0OP0H15ULQF9N95EJPYRH'}, {'id': 'AAVVQPS9O2R6X4LHQXE4MFP0'}]}; nioktr: {'id': 'JGH5OSXLUKW5SMUGV5G7BHJZ'} |